高純氬氣作為光譜分析儀中重要的氣體，氬氣的存在，為光譜分析提供了穩定清潔的環境，為后續光譜的準確檢測提供保障。但同時，需要保證氬氣的高質量。
氬氣火花能夠防止試樣表面的氧化，提高譜線與背景強度之比，穩定火花放電狀態等作用。氬氣不僅能保證激發譜線不受氧氣的吸收，而且它在某種程度上參加放電作用。氬的原子量比占空氣78%的氮氣的原子量大，所以它在沖擊時給予激發試樣粒子的能量也是較大的，直接增加譜線強度。
氬氣火花的穩定性是有條件的，它與氬氣流量、壓力的穩定性有關，同時也受到Ar純度的影響。氬氣穩定性時激發呈濃縮放電，否則呈擴散放電。
氬氣的流量和壓力決定氬氣對放電表面的沖擊力，必須適當。若沖擊能力低，即不足以將試樣激發過程中產生的氧和它形成氧化物沖掉，則這些氧化物必定凝集在樣品表面及電極上，抑制試樣的繼續蒸發，這種現象靠中心區愈嚴重。只有當氬氣的沖擊能力足以洗除氧和電極上的凝集物，同時又不至于使火花產生跳動時，才是ZUI佳狀態。
高純氬氣對光譜分析設備的重要性
氬氣不純，含有過量氧含量，凝集在電極上的氧化物多，譜線強度降低，使氬火花放電不穩定。水蒸汽和二氧化碳一樣，在高溫下可能分解出氧氣。因此水蒸汽和二氧化碳均不允許含量過大。碳過多，對含碳量較少的試樣的分析精度有直接影響。
高純氬氣，在光譜分析儀中占據了重要的位置，保障了化學元素分析的檢測結果。